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熱系統 -美國Process Technology-高純度產品


串聯化學加熱器

    串聯化學加熱器主要應用于濕加熱生產過程中,而在該生產過程中,串聯加熱法優于潛入式加熱法。本公司的串聯化學加熱器由鐵氟龍(聚四氟乙烯)和高純度石英制成, 輸出功率可達12, 000 w,應用溫度可高達1800C。有各種型號的產品可供客戶選擇,包括標準產品和特制產品。

 TIH 系列串聯鐵氟龍加熱器設計堅固耐用,為化學溶液的循環或者單一加熱提供了數年無故障操作。該加熱器主要與外帶動力泵/過濾器的化學浴槽或噴浴系統一起使用。其產業市場包括半導體、平板顯示器、微機電系統、生物醫學和其它工業行業所需的高純度化學加熱。

TIH產品系列,鐵氟龍化學加熱器


堅固耐用的串聯加熱器,基本上適于所有的化學液體,包括:HF 和 KOH。
TIH 系列串聯鐵氟龍加熱器設計堅固耐用,為化學溶液的循環或者單一加熱提供了數年無故障操作。該加熱器主要與外帶動力泵/過濾器的化學浴槽或噴浴系統一起使用。其產業市場包括半導體、平板顯示器、微機電系統、生物醫學和其它工業行業所需的高純度化學加熱。

TIH系列產品可用于:

SC1:氫氧化銨 (NH4OH) 和雙氧水(H2O2)
SC2:鹽酸 (HCL) 和雙氧水
二氧化矽蝕刻劑: 氫氟酸 (HF) 和氟化銨 (NH4F)
氮化物刻蝕:磷酸 (H3PO4)
其它的酸有:

鹽酸 (HCL)

氫氟酸 (HF)

醋酸 (C2H4O2)

硝酸 (HNO3)

硫酸 (H2SO4)

硫酸和雙氧水

硫酸和臭氧 (O3)

l氫氟酸和乙二醇

氫氧化鉀 (KOH)

氫氧化鈉 (NaOH)

鍍鎳

鍍銅

鍍金

DI水

帶星號*的溶劑請與公司聯系


 H2OT SHOTTM 石英化學加熱器


 加熱器液體接觸部位一律使用石英。維修/保養非常便捷。是SC1、SC2和其它適于石英之用的理想選擇。
 為了確保工作中無污染出現,本公司的紅外線石英加熱器液體接觸部位,一律為高純度石英。紅外線加熱燈管為其提供所需的熱能。

該加熱器一方面, 100%石英構造保證了各種不同的SC-1 和SC-2 溶液的加熱,包括鹽酸/雙氧水混合液、銨/雙氧水混合液、硫酸/雙氧水混合液、磷酸、硫酸和高純DI水。

另一方面,鐵氟龍(PTFE)密閉殼體提供了防腐、免維修/保養和二級屏障的作用,殼體排氣接口將多余的熱導出液體加熱器套。

該加熱器配有超溫保護器,滿足GFP、SEMI S2安全指標。為了確保加熱器高效、安全地運作,可以考慮添加泄漏探測器。

集上述各項功能于一身的H2OT SHOT超高純石英化學加熱器,體積不到12?2?4in3,是你理想的液體加熱器或其它需要超高純加熱器應用的場合。

產品性能和優點:

顯著的清潔性:100%高純石英構造,使其操作環境極其清潔。無離子或細菌污染。 

可靠性:與常規設計相比,本公司具有專利的冷卻系統大大延長了加熱器加熱元件的使用壽命。因為冷卻氣體只作用在所需的地方(紅外線加熱燈管插口),所以用最少量的氣體,達到最大的冷卻效果,從而獲得最大的加熱效率。

節約使用成本:在不不間斷化學溶液繼續流通的情況下,加熱元件可就地更換,顯著地降低了加熱器生命周期內的使用成本和化學溶液費用。

反應靈敏:因為鹵素燈具有瞬間啟動和快速反應的特點,所以在不同的流速下,有良好的溫度穩定性。

壓降小:高循環情況下,其獨特的構造使壓降最小。

易于維修/保養,工作停機時間最少:插入式的加熱元件設計,使其更換只需幾分鐘,因為不用觸動液體連接部分,系統也無需重新校對。


安全
設計:因為加熱元件與被加熱體是隔離的,所以也就不存在災難污染的可能。

二級屏障:鐵氟龍殼體也是一個免維修/保養的次級防護屏障,幫助保護周遭環境免受化學液體的濺落。另外,有泄漏探測器作為選項。
結構緊湊:安裝占地面小。
無死區: 液體切線流動消除了加熱器內的死角。如安裝正確,還可以自動排流和自動通氣。
無型密封圈: 消除了與污染有關的型密封圈,并確保工作無泄漏。

 

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